Litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUVL) – raport

Home / Raporty / Technologia / Litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUVL) – raport

Litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUVL) to zaawansowana technologia wykorzystująca źródło światła o długości fali 13.5 nm i jest wiodącym kandydatem na węzeł 22 nm litografia i poza nią. EUV litografia znajduje się obecnie w fazie pilotażowej z narzędziami 0.33-NA w zakładach produkujących chipy. W najbliższej przyszłości spodziewana jest produkcja na masową skalę.

EUV – aktualizacje technologiczne
  • Wielokrotne wzornictwo 
  • Osadzanie warstwy atomowej (ALD) 
  • Błona 
  • Nazwany Wysokim NA 
  • Platforma High-NA, zwana „EXE 
Litografia EUV: co dalej?​
Wyzwaniem w EUVL – jest silna absorpcja promieniowania EUV przez wszystkie materiały. Rezystory EUV mają taką strukturę, że nadruk następuje w bardzo cienkiej warstwie obrazującej na powierzchni maski. Co więcej, materiały odporne na EUV będą musiały ewoluować wraz z nadchodzącą ewolucją technologii źródeł światła. 

O TTC
Nieustannie dostrzegamy wartość nowych technologii wdrażanych przez naszą wykwalifikowaną załogę kierowniczą z doświadczeniem przypominającym naszych specjalistów. Podobnie jak profesjonaliści z zakresu własności intelektualnej, których wspieramy, nasz głód rozwoju nigdy się nie kończy. IMPROWIZUJEMY, ADAPTUJEMY i WDRAŻAMY w sposób strategiczny.

Ty też możesz Skontaktuj się z nami aby umówić się na konsultację.

Konsultanci TT oferuje szereg wydajnych, wysokiej jakości rozwiązań do zarządzania własnością intelektualną, począwszy od Wyszukiwanie zdolności patentowej, Wyszukiwanie unieważnienia, FTO (swoboda działania), Optymalizacja portfela patentów, Monitorowanie Patentów, Wyszukiwanie naruszeń, Opracowywanie patentów i ilustracje, i wiele więcej. Dostarczamy rozwiązania pod klucz zarówno kancelariom prawnym, jak i korporacjom wielu branż.

  • koperta-animate.svg

    Pobierz raport

Litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUVL) - raport

FREE DOWNLOAD

Wyślij link do pobrania do:

*Nigdy nie udostępnimy Twojego adresu e-mail nikomu innemu.

Udostępnij artykuł
TOP

Poproś o oddzwonienie!

Dziękujemy za zainteresowanie konsultantami TT. Wypełnij formularz, a my wkrótce się z Tobą skontaktujemy

    popup

    ODBLOKUJ MOC

    Twojego Pomysły

    Podnieś swoją wiedzę patentową
    Ekskluzywne spostrzeżenia czekają na Ciebie w naszym biuletynie

      Poproś o oddzwonienie!

      Dziękujemy za zainteresowanie konsultantami TT. Wypełnij formularz, a my wkrótce się z Tobą skontaktujemy