Litografia w ekstremalnym ultrafiolecie (EUVL) to zaawansowana technologia wykorzystująca źródło światła o długości fali 13.5 nm i jest wiodącym kandydatem na węzeł 22 nm litografia i poza nią. litografia EUV znajduje się obecnie w fazie pilotażowej z narzędziami 0.33-NA w zakładach produkujących chipy. W najbliższej przyszłości spodziewana jest produkcja na masową skalę.
litografia EUV Narzędzia wykorzystują źródło plazmy do generowania fotonów 13.5 nm.
Wzory z maski odblaskowej przenoszone są na podłoże pokryte światłoczułym materiałem zwanym fotomaską. Technika tworzenia wzorów odbywa się w próżni w konfiguracji optyki całkowicie odblaskowej. Twórz układy scalone z drukowanymi elementami mniejszymi niż 32 nm,
Światło EUV z plazmy jest gromadzona w kolektorze, który kieruje światło do optyki kształtującej zwanej „optyką iluminacyjną”. Światło oświetla fotomaskę. Optyka oświetleniowa składa się z wielowarstwowych zwierciadeł normalnego padania i zwierciadeł padających.
EUV maski to materiały o powierzchni 6 cali kwadratowych i grubości 1/4 cala o niskiej rozszerzalności cieplnej, posiadające wielowarstwową powłokę odblaskową i warstwę absorbera wytrawioną w warstwie obwodu. Odbity obraz maski EUV wchodzi do układu optycznego projekcyjnego składającego się z sześciu lub więcej wielowarstwowych zwierciadeł o NA > 0.25.
Ostateczny obraz skupia się na płytce krzemowej pokrytej światłoczułą powłoką trawiącą lub fotorezystem. System działa w środowisku o niskiej zawartości węglowodorów i wysokiej próżni
Wśród wielu stojących przed nami wyzwań znajduje się infrastruktura źródeł światła, rezystorów i masek oraz rozwój ekonomicznych narzędzi litograficznych
Materiał odporny musi mieć jednocześnie wysoką rozdzielczość, wysoką czułość, niską chropowatość krawędzi linii (LER) i niskie odgazowanie.
ODBLOKUJ MOC
Twojego Pomysły
Podnieś swoją wiedzę patentową
Ekskluzywne spostrzeżenia czekają na Ciebie w naszym biuletynie
Poproś o oddzwonienie!
Dziękujemy za zainteresowanie konsultantami TT. Wypełnij formularz, a my wkrótce się z Tobą skontaktujemy
Poproś o oddzwonienie!
Dziękujemy za zainteresowanie konsultantami TT. Wypełnij formularz, a my wkrótce się z Tobą skontaktujemy
